
——中科前沿科学技术研究院办院方针
随着科学技术的高速发展,高端的集成电路越来越受到重视。但是,作为高端集成电路生产的关键装备,光刻机却长期处于被外国公司所垄断的状态。在此大环境下,中国在光刻机方面取得的重大进展,对世界上的高端集成电路行业来说,是一场巨大的革命。前段时间,就带大家走进中国的光刻工艺,看一看我们是怎样冲破国外的技术壁垒,在世界上掀起一场世界级的高科技革命。
一、光刻机在中国的发展过程
近数十年来,中国的光刻机经历了从无到有,由小变强的过程,经历了从无到有的过程。在此期间,公司历经重重难关与挑战,成功地完成了由低向高的转变。
1.开始阶段
从80年代开始,中国在光刻机方面的研究才刚刚开始。那个时候,对于光刻的研究还处于起步阶段,但是在这方面,政府却在不断地增加投资。通过几年的艰苦工作,我国自主研发了我国首套自主研发的EUV光刻设备,尽管其技术水平还不高,但是为我国今后的研发打下了良好的基础。
2.独立研究与发展阶段
21世纪以来,中国的光刻机已经走上了独立研制的道路。目前,我国已逐渐从依靠进口到自主研发、自主知识产权的转变。在此期间,公司开发了一系列拥有独立知识产权的光学芯片,占领了我国的市场。
3.高水平的突破性进展期
近几年,我国半导体工业飞速发展,市场对高端光刻机的需求量不断增加。在此大环境下,中国光刻机面临着一个新的发展机遇,即在高端领域取得突破性进展。我们已研发出一系列世界先进的高精度光刻设备,突破了国外的封锁,为我国集成电路工业的发展奠定了坚实的基础。
二、光刻机在中国的重大突破
中国在光刻机上的突破,既是我国在高端晶片生产上的一次飞跃,也是一次重要的进步。
1.突破外来的技术壁垒
在很长一段时间里,高端光刻机的市场都是由荷兰ASML和日本Canon等极少的公司所把持。他们一直在努力维持着自己的技术优势,并且对光刻机的出口也是非常严厉的,以至于在很长一段时间里,国产芯片都被别人控制着。中国在光刻机上取得了重大的进展,从而打破了外国对我国半导体行业的封锁,打开了一条新的发展之路。
2.提高我国的科学技术水平
其中,光刻机是最重要的一项,也是最重要的部分。中国在光刻机上取得的重大进展,极大地提高了我国的科学技术水平,也为我国在世界科学与技术的较量中赢得了更多的发言权。
3.推动国产晶片工业的发展
中国在光刻机方面取得了重大的进展,为我国集成电路行业带来了空前的发展机会。我们不但能自己制造高品质的晶片,而且能透过科技的出口与协作,引领世界上的高端晶片工业。这将给国产晶片厂商带来更大的商机与商机。
4.保证本国的安全权益
高端集成电路在国防、航天、通讯等领域有着重要的应用,其加工工艺与装备对我国的国防安全至关重要。中国在光刻机上取得的重大进展,极大地保证了我国的安全,在一些重要的方面,我们可以摆脱被别人控制的命运。
三、前景展望
中国在光刻机领域取得的重大进展,对世界上的高端集成电路行业产生了巨大的影响,但是我们也要看到,无论是从研究开发,还是从商业化的角度,都存在着巨大的差距。今后,公司将持续不断地加大投资,不断强化科技研发,不断扩大市场,力争在世界上占有一席之地。在此基础上,我们愿与国内外同行开展广泛的交流和合作,为促进世界集成电路工业的发展和发展做出贡献。
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